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发布时间:2026-08-21
点击次数: 半导体晶圆制造流程复杂,整套生产流程包含几十道加工工序。FOUP 晶圆载盒需要在电子货架、工艺设备之间反复流转,物料货位管理、批次追踪直接影响晶圆生产良率。传统依靠人工记录、人工查找 FOUP 的作业模式,已经难以匹配半导体工厂洁净车间数字化管理的严苛要求。
在传统作业模式下,FOUP 存取搬运依靠人工完成,批次、工序、货位信息依靠人工登记,极易发生信息混淆错记;人工寻找目标 FOUP 耗时久,搬运作业整体效率偏低;同时人工接触操作,还存在晶圆被污染的风险,不利于产品品质管控。

在半导体电子货架每个货位部署 RFID读写器,当作业人员将FOUP放置到货架货位上,设备自动读取FOUP载盒上RFID标签内全部信息,FOUP载盒编号等关键数据,数据实时上传至上层管理平台统一处理。
系统支持联动货位指示灯,需要取出指定FOUP时,对应货位指示灯点亮,引导作业人员快速精准定位目标载盒,缩短找料时间。
同时系统持续采集留存晶圆批次全量历史数据,记录蚀刻周期、清洗次数、位置移动记录,实现晶圆全生命周期追溯,完整记录半导体产品移动与加工全过程,方便开展质量追踪与工艺管控。
准确性提升:RFID自动采集数据,消除人工登记带来的失误,提升晶圆物料货半岛股份科技有限公司位管理准确性。
效率优化:实现自动化的货位识别与指引,简化盘点、存取作业流程,缩短操作耗时,提升车间搬运周转效率。
安全性增强:采用非接触识别方式,减少人员与晶圆载具的直接接触,降低晶圆污染风险,保障晶圆生产质量。
数字化升级:依托RFID落地晶圆精细化智能管理,打通仓储货架与上层系统的数据链路,提升产线协同效率,降低运营成本,助力半导体制造数字化高质量发展。

CK-S610 是一款基于射频识别技术的低频 RFID 标签读卡器,读卡器工作频率134.2kHz。该读卡器支持标准 ModbusRTU协议,方便用户应用到PLC等系统中。读卡器内部集成了射频部分通信协议,用户只需通过 RS485/RS232 通信接口发送接收数据便可完成标签的读取操作,无需理解复杂的射频通信协议。读卡器自带 Auto-turning 自动调谐电路,在不同环境中工作时能自动调节电路参数,使外部环境对读卡距离的影响降到最小,进一步增强了自身的抗干扰能力, 具有接收灵敏度高、性能稳定、可靠性强等特点。 读卡器可广泛应用于物流,仓储管理,过程控制,机械臂站点控制等领域。